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薄膜熱釋電紅外探測器結構及性能介紹
Pyreos公司的紅外探測器是基于其*的薄膜熱釋電探測技術(Thin-Film Pyroelectric Technology),這項技術由德國西門子公司于上世紀九十年代初開發(fā)出來,歷經十余年的研發(fā)和改進,2008年被Pyreos公司收購,并開始大批量生產基于該技術的紅外探測器。
薄膜熱釋電探測器主要用鋯鈦酸鉛鐵電薄膜(PZT film)作為光電轉換元件,其厚度僅為1um,構成一個微型的光電系統(tǒng),其產生的電流通過兩個電搜集起來。
這種探測器具有以下特點:
薄膜熱釋電探測器
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帶給用戶的好處
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靈敏度高,輻射靈敏度可到106 V/W,D*可以達到>1×109,遠遠高于其他熱釋電傳感器 | 可用來檢測更為微弱的信號,提升產品的檔次,增強競爭力,降低生產成本 |
噪聲低且隨著溫度升高,噪聲依然可以維持在較低水平 | 提高用戶系統(tǒng)的信噪比,大幅降低溫度對系統(tǒng)的影響 |
頻率特性好,響應速度快,可達<5ms (200Hz) | 提高用戶系統(tǒng)的響應速度 |
熔點高,約600℃,耐高溫 | 無需額外的恒溫系統(tǒng)及探測器保護裝置,大大提高產品在復雜環(huán)境下工作的穩(wěn)定性 |
探測器的面積可選的范圍很寬,從150um×150um到3mm×2mm,封裝形式多樣化 | 用戶有更多選擇,系統(tǒng)設計更加靈活 |
光譜響應范圍從1.2um-20um | 根據不同應用,客戶可選擇裝配有濾光片的探測器,用于氣體檢測或光譜分析應用中 |
紅外光譜
目前市面上存在兩種紅外光譜儀:分光紅外譜儀和傅立葉變換紅外譜儀(FT-IR)。針對這種應用,可以提供兩種探測器解決方案:
1. 線陣列型探測器 線性變化紅外濾光片(Linear Variable Filter)
目前可提供的標準的線陣探測器包括:128×1,128×2,512×1。紅外濾光片的波長范圍有近紅外1.3-3.2um和中遠紅外2-20um兩種,根據不同應用,選擇相應波長范圍的LVF濾光片,可直接得到光譜信息。
線陣列探測器
2. 單點探測器
此種探測器主要是針對FT-IR光譜儀。提供不同感光面積的單點探測器,根據客戶需求,可選配適當?shù)募t外濾光片,濾光片的波長范圍:2-20um。
與FT-IR光譜領域常用的DTGS探測器相比,產品具有以下特點:
薄膜熱釋電探測器
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帶給用戶的好處
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價格低, 各波段的輻射靈敏度相對DTGS探測器更平坦 | 降低用戶的成本的同時不降低性能,有效提高了性價比 |
固態(tài)的探測器,不需要額外加光窗 | 降低用戶系統(tǒng)復雜性 |
高居里點(500℃),低顫噪聲(microphonics),性能穩(wěn)定,受溫度上升的影響小,不需要額外加制冷 | 提高用戶系統(tǒng)的穩(wěn)定性,降低系統(tǒng)復雜性 |
靈敏度D*為1×108@500k,1000Hz;響應度可達到10,000V/W;頻率響應范圍到3.3kHz | 很好的靈敏度 |
可在探測器前面加Lens,以收集更多的光 | 提高信噪比 |
可更加客戶應用的要求,調整探測器的參數(shù),以達到*的性能 | 系統(tǒng)性能進一步提升 |
單點型FT-IR光譜儀探測器
氣體檢測
目前,針對氣體檢測領域可以提供薄膜熱釋電傳感器,包括單通道、雙通道和四通道的氣體傳感器。由于這種探測器具有低功耗,探頭小巧,靈敏度高,性能穩(wěn)定,頻率響應快等優(yōu)勢,可廣泛應用于紅外氣體檢測領域,可用來也制作氣體分析儀(含便攜式),如檢測CO2、CO、CH4、H2S、碳氫化合物、氮氧化合物等。
感光面 |
D*
| Noise | Frequency | Responsivity |
1mm×1mm |
~3.5 x 108 cm√Hz/ W @10Hz
| ~ 0.4mV√Hz/W | 1-30Hz | ~150,000 V/ W @500K, 10Hz |
與其他產品(藍色)在溫度穩(wěn)定性的對比 與其他產品(藍色)在工作頻率上的對比
以CO2氣體檢測,帶有紅外濾光片雙通道探測器為例:
| CO2通道 | 參考信號通道 |
Responsivity(500k,10Hz) | ~10,000V/W | ~10,000V/W |
噪聲 | ~ 0.4mV√Hz/W | ~ 0.4mV√Hz/W |
Pyreos公司用于氣體分析紅外傳感器
火災預警,行為監(jiān)控及客流量計數(shù)
可以提供陣列型探測器,如3×3、4×4、4×20等陣列,用于火災預警,客流量計數(shù)等領域。其系統(tǒng)結構如下:
與傳統(tǒng)的紅外發(fā)射、接受的方式相比,如果選擇合適焦距的紅外鏡頭,配合不同陣列的紅外探測器,不僅能夠直接捕捉到由被測物體發(fā)射的紅外信號(去掉了發(fā)射這一步驟),還能夠獲得包括空間位置等更詳細的信息,有助于后續(xù)的分析系統(tǒng)作出正確的判斷,降低誤判率。
用于火災預警的陣列型探測器
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